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高速・高精度・小型直動ステージ

★現在は製造を見合わせています。

MICRONIX USA社のリニアモータステージは、高速で、高分解能なステージです。X軸ステージをご用意しています。

通常品のステージ本体はアルミニウム、ベアリングはスチールですが、その他の材料（ステンレス、チタン等）での特注も可能です。

*モデル名をクリックすると、詳細仕様と図面等が記載されたメーカサイトへジャンプします。

★ステージ取付部の平面度が不十分な場合、性能が得られない事がありますので、平面度は10um以内を目安にご用意下さい。

PPS-20LM

MICRONIX USA
PPS-20LM

■ スチール製　クロスローラベアリング

■ ストローク: 11, 18, 25 mm

■ ステージサイズ: 最小 33 x 37.3 mm, 厚さ 13mm

■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation)

■ Blocking force : 1 N

■ 最大移動速度:100 mm / sec

■ クローズドループ分解能: 2 nm

PPS-28LM

MICRONIX USA
PPS-28LM

■ スチール製　クロスローラベアリング

■ ストローク: 26, 51, 100 mm

■ ステージサイズ: 最小 64 x 44.2 mm, 厚さ 15mm

■ Load: 5 kg ( 50 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 1 N

■ 最大移動速度: 100 mm / sec

■ クローズドループ分解能: 1 nm

PPS-60

MICRONIX USA
PPS-60LM

■ スチール製　ボールベアリング

■ ストローク: 25, 50, 100, 200, 300 mm

■ ステージサイズ: 最大 69 x 392 mm, 厚さ 30mm

■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 10 N

■ 最大移動速度: 100 mm / sec

■ クローズドループ分解能: 2nm

PPS-60

MICRONIX USA
PPS-110LMnew

■ スチール製　リサーキュレーティング・ボールベアリング

■ ストローク: 100, 200, 300, 500, 1000 mm

■ Load: 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度: 250 mm / sec

■ クローズドループ分解能: 2 nm

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )

■ 10-9 Torrまでの真空対応

コントローラについてはお問合せください

更新 2017/08/02